| CZ法硅单晶生长电阻网络建模及MPC仿真分析 | |
| 弋英民; 张潼 | |
| 2016 | |
| 卷号 | 32页码:142-148,206 |
| 关键词 | 单晶硅 CZ法 电阻网络类比 低阶模型 模型预测控制 |
| ISSN号 | 1006-4710 |
| DOI | 10.19322/j.cnki.issn.1006-4710.2016.02.003 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4985253 |
| 专题 | 西安理工大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 弋英民,张潼. CZ法硅单晶生长电阻网络建模及MPC仿真分析[J],2016,32:142-148,206. |
| APA | 弋英民,&张潼.(2016).CZ法硅单晶生长电阻网络建模及MPC仿真分析.,32,142-148,206. |
| MLA | 弋英民,et al."CZ法硅单晶生长电阻网络建模及MPC仿真分析".32(2016):142-148,206. |
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