|
已选(0)清除
条数/页： 排序方式：
|
| 光刻机 信息时代的制造之王 期刊论文
百科知识, 2020, 期号: 32, 页码: 4-9
作者: 唐燕; 胡松; 何渝
  收藏 | 浏览/下载：24/0 | 提交时间：2021/05/11
|
| 浸没式光刻机对焦控制技术研究 期刊论文
光学学报, 2018
作者: 段晨; 宗明成; 范伟; 孟璐璐
收藏 | 浏览/下载：16/0 | 提交时间：2019/04/25 |
| 虚拟仿真在光刻工艺实验教学中的应用 期刊论文
教育现代化, 2018, 卷号: 5, 页码: 198-200
作者: 汪家奇
收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2019/12/02
|
| 多点实时光刻机光源照度均匀度检测系统设计 期刊论文
激光与光电子学进展, 2018, 卷号: 055, 期号: 006, 页码: 061203
作者: 赵可为; 谭艾英 ; 尹韶云; 蔡文涛; 杨若夫
收藏 | 浏览/下载：11/0 | 提交时间：2019/12/03 |
| 极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2835-2844
作者: 宋源; 卢启鹏; 龚学鹏; 王依; 彭忠琦
收藏 | 浏览/下载：34/0 | 提交时间：2018/04/09
|
| 193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展 期刊论文
中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581
作者: 张德福; 李显凌; 芮大为; 李朋志; 东立剑
收藏 | 浏览/下载：42/0 | 提交时间：2018/04/09
|
| 基于塔尔博特自成像光刻机的照明系统设计与分析 期刊论文
激光与光电子学进展, 2017, 卷号: 54, 期号: 8, 页码: 260-268
作者: 佟军民; 刘俊伯; 胡松
收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2018/12/20 |
| 狭缝柔性结构的光学元件超精密调节机构研究 期刊论文
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2016, 期号: 6
作者: 董世则
收藏 | 浏览/下载：30/0 | 提交时间：2017/09/17
|
| 纳米光刻中调焦调平测量系统的工艺相关性 期刊论文
光学学报, 2016
作者: 李世光; 叶甜春; 孙裕文
收藏 | 浏览/下载：14/0 | 提交时间：2017/05/09 |
| 光刻机工作台运动控制中的若干关键问题 期刊论文
2016, 2016
滕伟; 穆海华; 周云飞; TENG Wei; MU Haihua; ZHOU Yunfei
收藏 | 浏览/下载：4/0 |
