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上海微系统与信息技... [21]
内容类型
期刊论文 [21]
发表日期
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内容类型:期刊论文
专题:上海微系统与信息技术研究所
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Extended-wavelength 640 x 1 linear InGaAs detector arrays using N-on-P configuration for back illumination
期刊论文
JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES, 2012, 卷号: 31, 期号: 1, 页码: 11-+
Zhu, YM
;
Li, YF
;
Li, X
;
Tang, HJ
;
Shao, XM
;
Chen, Y
;
Deng, HH
;
Wei, P
;
Zhang, YG
;
Gong, HM
收藏
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2013/04/17
N-on-P configuration
ICP etching
linear detector array
photoelectric characteristics
Basic Wet-Etching Solutions for Ge2Sb2Te5 Phase Change Material
期刊论文
JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY, 2010, 卷号: 157, 期号: 4, 页码: H470-H473
Wang, LY
;
Liu, B
;
Song, ZT
;
Feng, SL
;
Xiang, YH
;
Zhang, FX
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2012/03/24
CHANGE MEMORY CELLS
FILMS
Highly porous SnO(2) fibers by electrospinning and oxygen plasma etching and its ethanol-sensing properties
期刊论文
SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL, 2010, 卷号: 144, 期号: 1 Pages, 页码: 43-48
Zhang, Y
;
Li, JP
;
An, GM
;
He, XL
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浏览/下载:5/0
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提交时间:2012/05/12
Mechanism of selective Si3N4 etching over SiO2 in hydrogen-containing fluorocarbon plasma
期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2009, 卷号: 86, 期号: 11, 页码: 2354-2357
Chen, LL
;
Xu, LD
;
Li, DX
;
Lin, B
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2012/03/24
SILICON-NITRIDE
OXIDE
DIOXIDE
REACTOR
RATES
CHF3
InAs0.45P0.55/InP strained multiple quantum wells intermixed by inductively coupled plasma etching
期刊论文
MATERIALS RESEARCH BULLETIN, 2009, 卷号: 44, 期号: 12, 页码: 2217-2221
Cao, M
;
Wu, HZ
;
Lao, YF
;
Cao, CF
;
Liu, C
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2012/03/24
VAPOR-PHASE EPITAXY
INASP/INP
ENHANCEMENT
PHOTOLUMINESCENCE
LUMINESCENCE
DEPENDENCE
DOTS
GAP
InAs0.45P0.55/InP strained multiple quantum wells intermixed by inductively coupled plasma etching
期刊论文
MATERIALS RESEARCH BULLETIN, 2009, 卷号: 44, 期号: 12, 页码: 2217-2221
Cao, M
;
Wu, HZ
;
Lao, YF
;
Cao, CF
;
Liu, C
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2013/05/10
Materials Science
Multidisciplinary
Reactive-ion etching of Sn-doped Ge2Sb2Te5 in CHF3/O-2 plasma for non-volatile phase-change memory device
期刊论文
THIN SOLID FILMS, 2008, 卷号: 516, 期号: 21, 页码: 7871-7874
Xu, C
;
Liu, B
;
Song, ZT
;
Feng, SL
;
Chen, BM
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2012/03/24
RANDOM-ACCESS MEMORY
OXYGEN
TRANSITION
Low-temperature synthesis and photocatalytic properties of ZnO nanotubes by thermal oxidation of Zn nanowires
期刊论文
NANOTECHNOLOGY, 2008, 卷号: 19, 期号: 4, 页码: 45605-45605
Lu, HB
;
Li, H
;
Liao, L
;
Tian, Y
;
Shuai, M
;
Li, JC
;
Fhu, M
;
Fu, Q
;
Zhu, BP
收藏
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2012/03/24
EXCITONIC STIMULATED-EMISSION
VAPOR-DEPOSITION
OPTICAL-PROPERTIES
CATALYTIC GROWTH
THIN-FILMS
MICROTUBES
NANOBELTS
NANORODS
ARRAYS
Reactive-ion etching of Ge2Sb2Te5 in CF4/Ar plasma for non-volatile phase-change memories
期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2008, 卷号: 85, 期号: 8, 页码: 1699-1704
Feng, GM
;
Liu, B
;
Song, ZT
;
Feng, SL
;
Chen, BM
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2012/03/24
THIN-FILMS
Chemical mechanical polishing and a succedent reactive ion etching processing of sapphire wafer
期刊论文
JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY, 2007, 卷号: 154, 期号: 3, 页码: H166-H169
Wang, LY
;
Zhang, KL
;
Song, ZT
;
Feng, SL
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2012/03/24
MIXED ABRASIVE SLURRIES
PLASMAS
FILMS
PH
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