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硫系化合物相变材料化学机械抛光纳米抛光液及其应用 成果
鉴定: 无, 2008
张楷亮; 宋志棠; 刘卫丽; 刘波
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硫系化合物相变材料化学机械抛光的纳米抛光液及其应用 成果
鉴定: 无, 2004
张楷亮; 宋志棠; 刘波; 刘卫丽; 封松林
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