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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Generalized Thermal Design Model for Comb-Capacitor MEMS Devices Fabricated by Bonding-DRIE Process: A Preliminary Framework 其他 2013-01-01 Sun, Han; Yang, Fang; Wang, Wei; Zhang, Dacheng 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/13 Generalized thermal design model  Bonding-DRIE process  Comb-capacitor MEMS devices   A MEMS-based infrared emitter array for combat identification 其他 2008-01-01 San, Haisheng; Chen, Xuyuan; Xu, Peng; Li, Fangqiang; Cheng, Meiying; 伞海生; 陈旭远 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/07/22 SILICON   Methods to protect silicon microstructures from the damages in deep reactive ion etching 其他 2007-01-01 Ruan, Yong; Ren, Tanling; Liu, Litian; Zhang, Dacheng 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/11/13