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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 限定条件 内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 NEMS actuator driven by electrostatic and optical force with nano-scale resolution 其他 2015-01-01 Huang, J.G.; Dong, B.; Tang, M.; Gu, Y.D.; Wu, J.H.; Chen, T.N.; Yang, Z.C.; Jin, Y.F.; Hao, Y.L.; Kwong, D.L.; Liu, A.Q. 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2017/12/03 NEMS ACTUATOR DRIVEN BY ELECTROSTATIC AND OPTICAL FORCE WITH NANO-SCALE RESOLUTION 其他 2015-01-01 Huang, J. G.; Dong, B.; Tang, M.; Gu, Y. D.; Wu, J. H.; Chen, T. N.; Yang, Z. C.; Yin, Y. F.; Hao, Y. L.; Kwong, D. L.; Liu, A. Q. 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2017/12/03 Actuator  NEMS  Optical force  INSTABILITY   Contactless RF MEMS switch using PZT actuation 其他 2013-01-01 Giffney, Tim; Yu, Miao; Aw, K.C.; Zhang, Haixia 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/17 A bulk micromachined tunable dual-mode Ku-band bandpass filter 其他 2008-01-01 Miao, Min; Bu, Jingpeng; Wang, Yafei; Xu, Shufang; Zhao, Liwei 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/13 Micro-jet pump for micro-fluidic systems 其他 2006-01-01 Li, Xiuhan; Yu, Xiaomei; Cui, Hailiang; Li, Zhanhua; Zhang, Dacheng 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2015/11/13 micro-jetpump  nozzle  diffuser  throat pipe  MAGNETOHYDRODYNAMIC MICROPUMP  FABRICATION  MICROVALVES  DEVICES  DESIGN  VALVES   Fabrication and characterization of a novel bulk Si micromachined distributed microwave phase shifter 其他 2004-01-01 Miao, M; Jin, YF; Zhang, JW; Wu, GY; Hao, YL; Zhang, HX 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/13 MEMS  microwave  phase shifter  fabrication  characterization  bulk micromachining