中国开放科研知识云: 检索

收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2022/05/17

微流道模具掩模电解加工多场耦合数值模拟 会议论文
特种加工技术智能化与精密化——第17届全国特种加工学术会议, 中国广东广州, 2017-11-01
作者: 户亚娜; 王续跃

收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2019/12/03

基于分离变量法的极紫外光刻三维掩模快速仿真方法 会议论文
作者: 张恒; 李思坤; 王向朝

收藏 | 浏览/下载：17/0 | 提交时间：2017/12/25

空间相干性调制光栅剪切干涉波像差检测技术研究 会议论文
作者: 彭常哲; 唐锋; 王向朝

收藏 | 浏览/下载：18/0 | 提交时间：2017/12/25

基于线性规划的光刻机光源优化方法 会议论文
作者: 李思坤; 王磊; 杨朝兴; 王向朝

收藏 | 浏览/下载：13/0 | 提交时间：2017/12/25

基于严格电磁场仿真的光刻机光源优化方法 会议论文
作者: 闫观勇; 王向朝; 李思坤

收藏 | 浏览/下载：17/0 | 提交时间：2016/11/28

基于动态适应度函数的光刻机光源掩模优化方法 会议论文
作者: 杨朝兴; 李思坤; 王向朝

收藏 | 浏览/下载：6/0 | 提交时间：2016/11/28

纳米粒子单层膜作掩模的纳米刻蚀技术研究 会议论文
中国大连中国微米、纳米技术第七届学术会年会
王英; 杨明来; 张效岩; 蔡炳初; 徐东; 张亚非

收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2017/06/19

先进体硅机械加工技术——从微米到纳米 会议论文
第一届长三角地区传感技术学术交流会论文集, 2006
李昕欣; 王跃林; 李铁; 杨恒; 焦继伟

收藏 | 浏览/下载：32/0 | 提交时间：2012/01/18

一种新颖的基于离子束刻蚀的纳米沟道制备技术 会议论文
传感技术学报, 2006
史明甫; 焦继伟; 包晓清; 冯飞; 杨恒; 李铁; 王跃林

收藏 | 浏览/下载：13/0 | 提交时间：2012/01/18

在结果中检索