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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 限定条件 内容类型：会议论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于分离变量法的极紫外光刻三维掩模快速仿真方法 会议论文 作者:  张恒;  李思坤;  王向朝 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2017/12/25 空间相干性调制光栅剪切干涉波像差检测技术研究 会议论文 作者:  彭常哲;  唐锋;  王向朝 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2017/12/25 基于线性规划的光刻机光源优化方法 会议论文 作者:  李思坤;  王磊;  杨朝兴;  王向朝 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2017/12/25 极紫外光刻投影物镜波像差检测技术研究 会议论文 作者:  唐锋;  王向朝;  郭福东;  冯鹏;  张国先 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2016/11/28 光掩膜铬版透明缺陷的激光辅助微区沉积铬膜修复技术研究 会议论文 陈继民; 阳建华 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2017/06/16 掩膜版:5681,修补技术:4434,激光辅助:3892,大规模集成电路:2525,技术研究:2331,光刻图形:2213,铬版:2062,激光应用:2010,缺陷修补:2006,基本工具:1966   微构件材料力学特性拉伸测试技术研究 会议论文 2010年第四届微纳米海峡两岸科技暨纳微米系统与加工制备中的力学问题研讨会, 中国上海, 2010-08-01 作者:  褚金奎 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/18 测试技术研究  光刻工艺  型片  热氧化  测试系统  对准精度  载物  硅薄膜  聚合物薄膜  集成测试