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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 内容类型：专利    专题：微电子研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 亚波长极紫外金属透射光栅及其制作方法 专利 专利号: US9442230, 申请日期: 2016-09-13, 公开日期: 2014-06-26 作者:  李海亮;  谢常青;  刘明;  李冬梅;  史丽娜 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2017/06/09 半导体器件制造方法 专利 专利号: US9418835, 申请日期: 2016-08-16, 公开日期: 2016-03-26 作者:  刘金彪;  李俊峰;  王桂磊 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2017/06/12 半导体器件及其制造方法 专利 专利号: US8652893, 申请日期: 2014-02-18, 公开日期: 2013-04-04 作者:  陈大鹏;  殷华湘;  徐秋霞 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/05/27