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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 学科主题：Sensor     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 电场传感器综合测试标定方法及关键技术研究 学位论文 博士, 北京: 中国科学院大学, 2017 李冰 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2017/06/06 电场传感器  测试标定  三维  遗传算法  直流离子流场  MEMS   基于MEMS压差传感器的二维风速计研究 学位论文 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016 刘成 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2016/06/08 二维风速计  压差传感器  微电子机械系统  风速  风向   基于SOI背孔引线技术的大量程谐振式MEMS压力传感器研究 学位论文 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016 邢永豪 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2016/06/02 谐振式压力传感器  大量程  阳极键合  SOI背孔引线  温度自补偿   大鼠脑内谷氨酸、葡萄糖与神经电微电极阵列研究 学位论文 博士, 北京: 中国科学院大学, 2015 蔚文婧 收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2015/06/17 MEMS 技术+微电极阵列+谷氨酸+葡萄糖+电生理   高Q值的谐振式MEMS气压传感器的研究 学位论文 博士, 北京: 中国科学院大学, 2015 罗振宇 收藏  |  浏览/下载：68/0  |  提交时间：2015/06/05 谐振式  压力传感器  品质因数  圆片级真空封装  阳极键合  吸气剂  TGV  低应力组装  差频检测  温度补偿