题名 | 基于SOI背孔引线技术的大量程谐振式MEMS压力传感器研究 |
作者 | 邢永豪 |
学位类别 | 硕士 |
答辩日期 | 2016-05-21 |
授予单位 | 中国科学院研究生院 |
授予地点 | 北京 |
导师 | 陈德勇 |
关键词 | 谐振式压力传感器 大量程 阳极键合 SOI背孔引线 温度自补偿 |
学位专业 | 生物电子学 |
语种 | 中文 |
学科主题 | 传感器 ; Sensor |
公开日期 | 2016-06-02 |
内容类型 | 学位论文 |
源URL | [http://ir.ie.ac.cn/handle/80137/10730] ![]() |
专题 | 电子学研究所_电子所博硕士学位论文_电子所博硕士学位论文_学位论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 邢永豪. 基于SOI背孔引线技术的大量程谐振式MEMS压力传感器研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院. 2016. |
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