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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 学科主题：Physics, Multidisciplinary    内容类型：期刊论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Geometrical deviation and residual strain in novel silicon-on-aluminium-nitride bonded wafers 期刊论文 CHINESE PHYSICS LETTERS, 2002, 卷号: 19, 期号: 11, 页码: 1718-1720 Men, CL; Xu, Z; Wu, YJ; An, ZH; Xie, XY; Lin, CL 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2012/03/24 INSULATOR  TECHNOLOGY  FILMS  ALN   Nanocavities: an effective gettering method for silicon-on-insulator wafers 期刊论文 CHINESE PHYSICS LETTERS, 1998, 卷号: 15, 期号: 7, 页码: 516-518 Zhang, M; Zeng, JM; Huang, JP; Lin, ZX; Zhou, ZY; Lin, CL 收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2012/03/25 CAVITIES  COPPER  IMPLANTATION  BREAKDOWN  OXIDES  NICKEL  CARBON