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科研机构
上海微系统与信息技术... [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2004 [1]
2000 [1]
学科主题
Materials ... [2]
Multidisci... [2]
Ceramics; ... [1]
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学科主题:Materials Science
学科主题:Multidisciplinary
内容类型:期刊论文
专题:上海微系统与信息技术研究所
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Analysis of IBAD silicon oxynitride film for anti-reflection coating application
期刊论文
JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS, 2004, 卷号: 333, 期号: 3, 页码: 296-300
Wang,YJ
;
Cheng,XL
;
Lin,ZL
;
Zhang,CS
;
Xiao,HB
;
Zhang,F
;
Zou,SC
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/03/24
RAY PHOTOELECTRON-SPECTROSCOPY
REFRACTIVE-INDEX
ON-INSULATOR
THIN-FILMS
WAVE-GUIDE
AUGER-SPECTROSCOPY
INTEGRATED-OPTICS
NITRIDE FILMS
ELLIPSOMETRY
LAYERS
AlN thin films prepared by reactive ion beam coating
期刊论文
FUNDAMENTAL MECHANISMS OF LOW-ENERGY-BEAM-MODIFIED SURFACE GROWTH AND PROCESSING, 2000, 卷号: 585, 期号: 0, 页码: 251-256
Cheng,LL
;
Yu,YH
;
Sundaravel,B
;
Luo,EZ
;
Lin,S
;
Lei,YM
;
Ren,CX
;
Cheung,WY
;
Wong,SP
;
Xu,JB
;
Wilson,IH
收藏
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浏览/下载:55/0
  |  
提交时间:2012/03/24
AUGER-ELECTRON SPECTROSCOPY
ALUMINUM NITRIDE
DEPOSITION
GROWTH
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