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科研机构
上海光学精密机械研... [20]
内容类型
期刊论文 [20]
发表日期
2008 [3]
2007 [2]
2006 [5]
2005 [10]
学科主题
光学薄膜 [20]
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学科主题:光学薄膜
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Influence of oxygen plasma treatment on properties of ZrO
2
films prepared by e-beam evaporation techniques
期刊论文
solid state commun., 2008, 卷号: 148, 期号: 1-2, 页码: 22, 24
Zhang Dongping
;
Fan Ping
;
Cai Xing-Min
;
Liang Guangxing
;
邵建达
;
Wang Congjuan
;
Zhang Dawei
;
范正修
收藏
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浏览/下载:952/260
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提交时间:2009/09/22
thin film
plasma treatment
microstructure
optical property
热舟蒸发LaF_3薄膜的紫外性能研究
期刊论文
物理学报, 2008, 卷号: 57, 期号: 3, 页码: 1941, 1945
尚淑珍
;
邵建达
;
范正修
;
赵祖欣
收藏
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浏览/下载:1368/225
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提交时间:2009/09/22
optical film
depositing temperature
LaF3
optical loss
SiO2保护层和退火对Ta2O5薄膜激光损伤阈值影响的对比研究
期刊论文
Chin. Opt. Lett., 2008, 卷号: 6, 期号: 3, 页码: 228, 230
许程
;
董宏成
;
麻健勇
;
晋元霞
;
邵建达
;
范正修
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浏览/下载:1389/215
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提交时间:2009/09/22
Ta2O5薄膜
SiO2保护层
激光损伤阈值
退火
Electric field intensity (EFI)
Electron beam evaporation
Laser induced damage threshold (LIDT)
Microdefect density
Tantalum oxide films
薄膜厚度对HfO2薄膜残余应力的影响
期刊论文
稀有金属材料与工程, 2007, 卷号: 36, 期号: 3, 页码: 412, 415
申雁鸣
;
贺洪波
;
邵淑英
;
范正修
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:1101/176
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提交时间:2009/09/22
HfO2薄膜
HfO2 thin film
残余应力
residual stress
膜厚
thin film thickness
电子束蒸发
electron beam evaporation
高真空室中的水蒸气对HfO2薄膜性能的影响
期刊论文
Chin. Opt. Lett., 2007, 卷号: 5, 期号: 8, 页码: 487, 489
凌波
;
贺洪波
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:760/92
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提交时间:2009/09/22
薄膜
水蒸气
光学性能
激光损伤
Electron beams
Evaporation
Laser damage
Microstructure
Optical properties
Physical properties
Q switched lasers
Refractive index
Spectrophotometers
Water vapor
X ray diffraction analysis
磁控溅射不同厚度银膜的微结构及其光学常数
期刊论文
物理学报, 2006, 卷号: 55, 期号: 9, 页码: 4923, 4927
孙喜莲
;
洪瑞金
;
齐红基
;
范正修
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:1172/135
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提交时间:2009/09/22
DC sputtering deposition
Ag films
microstructrue
optical constants
Mo原子溅射能量对Mo/Si薄膜微结构的影响
期刊论文
功能材料与器件学报, 2006, 卷号: 12, 期号: 2, 页码: 81, 85
秦俊岭
;
易葵
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:695/143
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提交时间:2009/09/22
Mo/Si
MoSi2
溅射能量
不同氧分压下电子束蒸发氧化锆薄膜的特性
期刊论文
光电工程, 2006, 卷号: 33, 期号: 6, 页码: 37
张东平
;
邵淑英
;
黄建兵
;
占美琼
;
范正修
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:627/82
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提交时间:2009/09/22
氧化锆薄膜
氧分压
表面迁移率
薄膜特性
制备工艺条件对薄膜微结构的影响
期刊论文
中国激光, 2006, 卷号: 33, 期号: 5, 页码: 673, 678
田光磊
;
申雁鸣
;
沈健
;
邵建达
;
范正修
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浏览/下载:817/83
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提交时间:2009/09/22
薄膜
X射线衍射
晶相结构
迁移率
扩散激活能
铬过渡层对银膜光学性质及附着力的影响
期刊论文
中国激光, 2006, 卷号: 33, 期号: 12, 页码: 1680, 1683
孙喜莲
;
邵建达
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浏览/下载:1041/104
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提交时间:2009/09/22
薄膜
银膜
微结构
光学性质
附着力
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