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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 学科主题：光学工程     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究 学位论文 作者:  郑亚忠 收藏  |  浏览/下载：268/0  |  提交时间：2018/12/26 光刻机，工件台，位置测量，平面光栅尺  Lithography tools, Wafer stage, Position measurement, Plane grating encoder   光刻机光瞳整形系统设计与仿真研究 学位论文 作者:  马健 收藏  |  浏览/下载：1379/0  |  提交时间：2018/12/26 光刻机  lithography machine  光瞳整形  pupil shaping  变焦系统  zoom system  轴锥镜组  axicon group  光学设计  optical design   光栅尺关键技术研究 学位论文 作者:  卢炎聪 收藏  |  浏览/下载：182/0  |  提交时间：2018/12/26 光栅干涉仪  grating interferometer  标尺光栅  grating scale  光学细分  optical subdivision  信号探测  signal acquisition  位移测量  displacement measurement   衍射透镜焦斑的非迭代相干检测研究 学位论文 作者:  王松贤 收藏  |  浏览/下载：36/0  |  提交时间：2018/12/26 衍射透镜  diffractive lenses  数字全息  digital holography,  微光器件  micro-optical device,  光子筛  photon sieve,  自动对焦  autofocus   量子点掺杂硅酸盐玻璃量子点掺杂硅酸盐玻璃量子点掺杂硅酸盐玻璃量子点掺杂硅酸盐玻璃量子点掺杂硅酸盐玻璃量子点掺杂硅酸盐玻璃制备及其制备及其制备及其光学性能研究光学性能研究光学性能研究 学位论文 作者:  王何宁 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2018/12/26 双光子荧光  Two-photon absorption  量子点掺杂玻璃  Glass doped with QDs  光谱分析  Spectrum  光学特性  Optical properties