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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 发表日期：2016    专题：电子学研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于MEMS压差传感器的二维风速计研究 学位论文 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016 刘成 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2016/06/08 二维风速计  压差传感器  微电子机械系统  风速  风向   基于MEMS及芯片集成技术的三维电场传感器研究 学位论文 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016 方奕庚 收藏  |  浏览/下载：191/0  |  提交时间：2016/06/02 MEMS  三维  电场传感器  电场探测  芯片集成  柔性折叠  对称电极   基于SOI背孔引线技术的大量程谐振式MEMS压力传感器研究 学位论文 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016 邢永豪 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2016/06/02 谐振式压力传感器  大量程  阳极键合  SOI背孔引线  温度自补偿   静电激励谐振式MEMS气压传感器的关键技术研究 学位论文 博士, 北京: 中国科学院大学, 2016 谢波 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2016/06/04 谐振式压力传感器  静电激励/电容检测  阳极键合真空封装  SOI通孔引线  Au电极无掩膜制作  温度自补偿