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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2016    专题：北京航空航天大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 THE CONTROL METHOD OF SURFACE MORPHOLOGY AND ETCH RATES FOR SILICON ETCH PROCESS WITH EXTREMELY DEEP AND HIGH ASPECT RATIO 会议论文 PROCEEDINGS OF THE ASME 5TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO/NANOSCALE HEAT AND MASS TRANSFER, 2016, VOL 2, 2016-01-01 作者:  Xu, Tiantong;  Tao, Zhi;  Tan, Xiao;  Li, Haiwang 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2019/12/30 high aspect ratio  silicon etching  surface morphology  etching rate