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电工研究所 [2]
内容类型
学位论文 [2]
发表日期
2005 [2]
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发表日期:2005
专题:电工研究所
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扫描电子束曝光机背散射电子检测与对准技术的研究
学位论文
硕士: 中国科学院电工研究所, 2005
1李晨菲,电工研究所
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提交时间:2010/10/18
电子束扫描曝光机
背散射电子检测电路
扫描场畸变
自动线性校正 Scanning-Electron-Beam Lithographic System
backscattered electron detection circuit
distortion of e-beam field
automatic correction
纳米级电子束曝光机聚焦偏转系统的研究
学位论文
博士: 中国科学院电工研究所, 2005
1刘珠明,电工研究所
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2010/10/18
电子束曝光
纳米级聚焦偏转系统
高级像差 Electron beam lithography
Nanometer-scale focusing-deflection system
High-order aberrations
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