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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 限定条件 发表日期：2005    专题：北京大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 复合静电驱动结构致动的内旋转微镜 期刊论文 半导体学报, 2005 吴文刚; 陈庆华; 尹冬青; 闫桂珍; 陈章渊; 郝一龙; 徐安士 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/12 微镜 复合静电驱动结构 平板驱动器 垂直梳齿驱动器 硅混合微加工 micromirror hybrid electrostatic driving structure planar plate drive vertical comb drive mixed silicon micromachining   Hybrid electrostatic actuator for micromirror tilting 其他 2005-01-01 Wu, WG; Chen, QH; Yan, GZ; Hao, YL; Yin, DQ; Chen, ZY; Xu, AS 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/11/13 DESIGN CONSIDERATIONS  MIRRORS   A bulk micromachined lateral axis gyroscope with vertical sensing comb capacitors 其他 2005-01-01 Yang, ZC; Wang, CS; Yan, GZ; Hao, YL; Wu, GY 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/13 gyroscope  vertical comb  bulk micromachined   A bulk micromachined lateral axis gyroscope with vertical sensing comb capacitors 其他 2005-01-01 Yang, Zhenchuan; Wang, Congshun; Yan, Guizhen; Hao, Yilong; Wu, Guoying 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/13 Hybrid electrostatic actuator for micromirror tilting 其他 2005-01-01 Wu, W.G.; Chen, Q.H.; Yan, G.Z.; Hao, Y.L.; Yin, D.Q.; Chen, Z.Y.; Xu, A.S. 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2015/11/13 Into-plane rotating micromirror actuated by a hybrid electrostatic driving structure 期刊论文 pan tao ti hsueh paochinese journal of semiconductors, 2005 Wu, Wengang; Chen, Qinghua; Yin, Dongqing; Yan, Guizhen; Chen, Zhangyuan; Hao, Yilong; Xu, Anshi 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/13