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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2003    内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 离子注入对Si<,3>N<,4>薄膜应力的影响 其他 2003-01-01 张国炳; 徐嘉佳; 张劲宇; 郝一龙 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/13 离子注入 Si&  薄膜应力 微电子机械系统  ,3&  N&  ,4&  lt  gt  lt  gt   Cymbal换能器的几何尺寸与性能关系研究 其他 2003-01-01 王光灿; 吴轩; 王丽坤; 李光; 栾桂冬; 张福学 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/12 Cymbal换能器  空腔高度  金属材料厚度  压电陶瓷厚度  性能关系