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退火温度对Ta2O5/SiO2多层反射膜结构和应力特性的影响 期刊论文
物理学报, 2019, 卷号: 68, 期号: 11, 页码: 166-172
作者:  刘保剑;  段微波;  李大琪;  余德明;  陈刚
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