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绩效管理导向财政科研经费管理转型路径研究 期刊论文
预算管理与会计, 2023, 期号: 12, 页码: 29-32
作者:  雒宁宁;  刘鑫
收藏  |  浏览/下载:0/0  |  提交时间:2024/01/26
英夫利西单克隆抗体联合硫唑嘌呤治疗溃疡性结肠炎致药物性胰腺炎一例 期刊论文
中华消化杂志, 2019, 卷号: 39, 期号: 3
作者:  张峰睿;  段丽平;  吴静;  冯煜然;  缪应雷
收藏  |  浏览/下载:10/0  |  提交时间:2019/12/04
TBM施工围岩变形监测系统 专利
申请日期: 2017-01-01, 公开日期: 2018
作者:  徐湘涛;  汪家林;  黄秋香
收藏  |  浏览/下载:5/0  |  提交时间:2019/12/13
模拟呼吸运动分析肺癌VMAT剂量影响 期刊论文
中华放射肿瘤学杂志, 2015, 卷号: 24, 期号: 5
作者:  李衍龙;  王雪桃;  苏晨;  李光俊;  柏森
收藏  |  浏览/下载:3/0  |  提交时间:2019/12/05
精密单点定位在NTSC时间传递中的应用 会议论文
第三届中国卫星导航学术年会, 中国广东广州, 2012
广伟; 袁海波; 董绍武
收藏  |  浏览/下载:13/0  |  提交时间:2012/10/19
原子钟不同取权方法对原子时尺度的影响 会议论文
第二届中国卫星导航学术年会, 中国上海, 2011
袁海波; 屈俐俐; 广伟
收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2012/10/19
时间尺度  原子钟  权|Abstract  AT1算法主要考虑的原子时尺度的实时性  计算原子时尺度就是通过原子钟权重调整原子钟之间的相互关系  原子钟的取权主要参该原子钟考近期频率变化情况  获得一个综合的  但权重选取必须考虑到原子时尺度的连续与稳定  稳定性和可靠性更高的时间尺度。在原子时尺度算法中  虽然性能较好的钟获得的权重会比较大  无论是采用标准方差或是阿伦方差  但不能不加限制的赋予其权  其目的都是最大程度的抑制由于各种噪声引起的不确定性。ALGOS算法主要考虑到原子时尺度的长期稳定性  而应对其进行限定  原子钟的取权参考该原子钟一年来的运行情况  从而保证原子时尺度的稳定性和可靠性。本文主要研究原子时尺度计算中以Allan方差取权  并赋予最大权限制以及等权情况下  原子时尺度长期和短期性能的变化  为提高地方原子时的性能提供可靠的依据。  
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:  宁锦华
收藏  |  浏览/下载:22/0  |  提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作  探测率高等优点  Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究  重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器  通过最终性能的比较  评价得出较好的台面成型方式  为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性  侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉  铟基材料的刻蚀需要对样品加热  在此温度下  光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说  采用pecvd生长sinx  选择边缘平整的光刻板  用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒  可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物  但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器  平均刻蚀速率过快  同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离  提高刻蚀速率  相比较ar气  N2的物理轰击力小  对材料造成的损伤小  同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx  在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型  能得到刻蚀速率稳定可控  刻蚀后的表面光洁无残留物  图形保真度好。在不同的直流偏压  Icp功率  气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型  并从刻蚀速率  刻蚀垂直度  刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上  找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下  Icp具有图形保真度好  刻蚀速率稳定可控的优点  因而更适用于ingaas探测器的工程制作  特别在小光敏元探测器的制备中  Icp的优势将更明显。  


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