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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 发表日期：2012     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Silicon-on-insulator out-of-plane electrostatic actuator with in situ capacitive position sensing 期刊论文 journal of micro nanolithography mems and moems, 2012 Wang, Jiankun; Yang, Zhenchuan; Yan, Guizhen 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2015/11/13 electrostatic actuator  silicon-on-insulator  asymmetrical comb drive  capacitive position sensing  VERTICAL COMB ELECTRODES  CMOS-MEMS  DRIVE  DESIGN  MICROMIRROR  SENSORS   Silicon microring sensors 其他 2012-01-01 Zhou, Zhiping; Yi, Huaxiang 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2015/11/13 Silicon microring  optical sensors  resonance shift  SHARP ASYMMETRICAL RESONANCE  RING-RESONATORS  BIOCHEMICAL SENSORS  INTENSITY DETECTION  HIGH-SENSITIVITY  FILTERS  ARRAY  CHIP   Research and analysis of a laser-type high temperature pressure sensor based on SiC diaphragm 其他 2012-01-01 Hu, Yanqing; Hu, Guoqing; Yi, Shaoxiang; Zhang, Jianwei; 胡国清 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/07/22 Aerospace engineering  Chemical analysis  Chemical properties  Deflection (structures)  Diaphragms  Finite element method  High pressure engineering  High temperature applications  Laser theory  Mathematical models  Mechanical properties  Partial pressure sensors  Pressure  Pressure sensors  Silicon carbide  Thermoelasticity  Triangulation