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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 学科主题：半导体材料    发表日期：2004     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Amorphous silicon carbide films prepared by H-2 diluted silane-methane plasma 期刊论文 journal of crystal growth, 2004, 卷号: 264, 期号: 1-3, 页码: 7-12 Hu ZH; Liao XB; Diao HW; Kong GL; Zeng XB; Xu YY 收藏  |  浏览/下载：32/3  |  提交时间：2010/03/09 annealing