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科研机构
北京大学 [2]
内容类型
其他 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2012 [2]
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发表日期:2012
专题:北京大学
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Silicon-on-insulator out-of-plane electrostatic actuator with in situ capacitive position sensing
期刊论文
journal of micro nanolithography mems and moems, 2012
Wang, Jiankun
;
Yang, Zhenchuan
;
Yan, Guizhen
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2015/11/13
electrostatic actuator
silicon-on-insulator
asymmetrical comb drive
capacitive position sensing
VERTICAL COMB ELECTRODES
CMOS-MEMS
DRIVE
DESIGN
MICROMIRROR
SENSORS
Silicon microring sensors
其他
2012-01-01
Zhou, Zhiping
;
Yi, Huaxiang
收藏
  |  
浏览/下载:7/0
  |  
提交时间:2015/11/13
Silicon microring
optical sensors
resonance shift
SHARP ASYMMETRICAL RESONANCE
RING-RESONATORS
BIOCHEMICAL SENSORS
INTENSITY DETECTION
HIGH-SENSITIVITY
FILTERS
ARRAY
CHIP
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