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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2011    专题：西安交通大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 The design and fabrication of high pressure sensor based on SOI wafer 期刊论文 Harbin Gongye Daxue Xuebao/Journal of Harbin Institute of Technology, 2011, 卷号: 43, 期号: [db:dc_citation_issue], 页码: 352-354 作者:  Tian, Bian;  Zhao, Yu-Long;  Jiang, Zhuang-De 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/12/10 High linearity  High pressure  High pressure sensors  High temperature  High-pressure and temperatures  Piezo-resistive sensors  Silicon on insulator wafers  Thick membranes