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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Integrated micromachined thermopile IR detectors with an XeF2 dry-etching process 期刊论文 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2009, 卷号: 19, 期号: 12, 页码: 125003-125003 Xu, DH; Xiong, B; Wang, YL; Liu, MF; Li, T 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2011/12/17 CMOS  SENSORS  SILICON  SI