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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 学科主题：Optical instruments - Scanning     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 A new synchronization control method of wafer and reticle stage in step and scan lithographic equipment 期刊论文 Optik, 2013, 卷号: 124, 期号: 24, 页码: 6861-6865 作者:  Li, Lanlan;  Hu, Song;  Zhao, Lixin;  Ma, Ping;  Li, Jinlong 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2016/11/23