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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 A bulk micromachined z-axis single crystal silicon gyroscope for commercial applications 其他 2008-01-01 Ding, Haitao; Liu, Xuesong; Cui, Jian; Chi, Xiaozhu; Guo, Zhongyang; Yang, Zhenchuan; Yan, Guizhen 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/11/10 bulk microntachine  gyroscope  silicon on glass  deep reactive ion etching