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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 学科主题：微电子学     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Fabrication and characterization of an SOI MEMS gyroscope 期刊论文 journal of semiconductors, 2013, 卷号: 34, 期号: 6, 页码: 064004 Zhong Weiwei; Han Guowei; Si Chaowei; Ning Jin; Yang Fuhua 收藏  |  浏览/下载：77/0  |  提交时间：2014/05/16 Feed-through cancellation of a MEMS filter using the difference method and analysis of the induced notch 期刊论文 journal of semiconductors, 2013, 卷号: 34, 期号: 4, 页码: 045006 Han, Guowei; Si, Chaowei; Ning, Jin; Zhong, Weiwei; Sun, Guosheng; Zhao, Yongmei; Yang, Fuhua 收藏  |  浏览/下载：55/0  |  提交时间：2014/04/28