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半导体研究所 [7]
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半导体器件 [7]
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学科主题:半导体器件
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截面为多边形的晶棒及衬底片表面取向的标识方法
专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2014
王文军
;
李晋闽
;
王军喜
;
马平
;
纪攀峰
;
郭金霞
;
孔庆峰
;
胡强
收藏
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2014/11/05
MOCVD设备的石墨托盘
专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-08-30
纪攀峰
;
孔庆峰
;
王文军
;
胡强
;
马平
;
曾一平
;
王军喜
;
李晋闽
收藏
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浏览/下载:32/0
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提交时间:2016/08/30
用于金属有机气相沉积设备的进气喷头
专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2012-07-04
冉军学
;
胡强
;
梁勇
;
胡国新
;
王军喜
;
曾一平
;
李晋闽
收藏
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2014/10/31
用于金属有机化学气相沉积设备的反应室进气装置
专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2013-05-01
冉军学
;
胡强
;
胡国新
;
梁勇
;
熊衍凯
;
王军喜
;
曾一平
;
李晋闽
收藏
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2014/12/25
MOCVD设备反应室进气的气体混合与隔离装置
专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2013-05-08
冉军学
;
胡强
;
胡国新
;
梁勇
;
熊衍凯
;
王军喜
;
曾一平
;
李晋闽
收藏
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2014/12/25
优化配置的多腔室MOCVD反应系统
专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-02-05
纪攀峰
;
马平
;
王军喜
;
胡强
;
冉军学
;
曾一平
;
李晋闽
收藏
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2014/11/05
用于MOCVD系统中控制外延片发光波长及均匀性的装置与方法
专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-01-22
纪攀峰
;
马平
;
王军喜
;
胡强
;
冉军学
;
曾一平
;
李晋闽
收藏
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2014/11/05
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