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离子注入及退火对GaAs/Si晶体完整性影响的研究 期刊论文
半导体学报, 1990, 卷号: 11, 期号: 11, 页码: 866
肖光明; 殷士端; 张敬平; 范缇文; 刘家瑞; 丁爱菊; 周钧铭; 朱沛然
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