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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 内容类型：其他    发表日期：2012     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 High-isolation lateral RF MEMS capacitive switch based on HfO2 dielectric for high frequency applications 其他 2012-01-01 He, X. J.; Lv, Z. Q.; Liu, B.; Li, Z. H. 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/10 Lateral switch  Electrothermal-actuation  RF MEMS  Capacitive switch  ALD process  POLYSILICON  CONTACT   INDUCTIVELY COUPLED PLASMA ETCHING OF BULK MOLYBDENUM 其他 2012-01-01 Hu, J.; Zhang, Y.; Chen, S.; He, S.; Li, N.; Chen, J. 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/13