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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 内容类型：会议论文    发表日期：2007     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Investigation of mechanical and structural properties of AIN thin films prepared by mid-frequency pulsed magnetron sputtering 会议论文 6th Pacific Rim International Conference on Advanced Materials and Processing, Cheju Isl, SOUTH KOREA, 2007-11-05 作者:  Zongxin Mu;  Aimin Wu;  Li Jia;  Zhenwei Wang;  Huayu Zhao 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/27 aluminum nitride  magnetron sputtering  thin film