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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 专题：上海硅酸盐研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Deposition Temperature and Heat Treatment on Silicon Nitride Coating Deposited by LPCVD 期刊论文 JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS, 2019, 卷号: 34, 期号: 11, 页码: 1231 作者:  Liao Chun-Jing;  Dong Shao-Ming;  Jin Xi-Hai;  Hu Jian-Bao;  Zhang Xiang-Yu 收藏  |  浏览/下载：105/0  |  提交时间：2019/12/26 silicon nitride coating  growth kinetic  deposition temperature  chemical composition  heat treatment