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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 专题：河北大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 a-SiN: H薄膜的对靶溅射沉积及微结构特性研究 期刊论文 科学通报, 2010, 卷号: 55, 期号: 18, 页码: 1799-1804 作者:  于威[1];  孟令海[2];  耿春玲[3];  丁文革[4];  武树杰[5] 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/21 氢化非晶氮化硅  对靶磁控溅射  微观结构  键合特性