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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 内容类型：会议论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 In-situ Boron-doped Low-stress LPCVD Polysilicon for Micromechanical Disk Resonator 会议论文 9th international conference on solid-state and integrated-circuit technology, beijing, peoples r china, oct 20-23, 2008 Liu, YF; Xie, J; Yang, JL; Tang, LJ; Yang, FH 收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2010/03/09 FILMS