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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2012     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Silicon-on-insulator out-of-plane electrostatic actuator with in situ capacitive position sensing 期刊论文 journal of micro nanolithography mems and moems, 2012 Wang, Jiankun; Yang, Zhenchuan; Yan, Guizhen 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2015/11/13 electrostatic actuator  silicon-on-insulator  asymmetrical comb drive  capacitive position sensing  VERTICAL COMB ELECTRODES  CMOS-MEMS  DRIVE  DESIGN  MICROMIRROR  SENSORS