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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 专题：北京航空航天大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 A Reliable Si3N4/Al2O3-HfO2 Stack MIM Capacitor for High-Voltage Analog Applications 期刊论文 IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES, 2014, 卷号: 61, 页码: 2944-2949 作者:  Ho, Ching-Sung;  Chang, San-Jung;  Chen, Shih-Chang;  Liou, Juin J.;  Li, Hongge 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2020/01/06 Atomic layer deposition (ALD)  capacitance density  high-k  laminated Al2O3-HfO2 (LAHO) insulator  metal-insulator-metal (MIM) capacitor  time-dependent dielectric breakdown (TDDB)  voltage linearity