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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2009     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 无掩模激光直写纳米光刻机 学位论文 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009 作者:  范永涛 收藏  |  浏览/下载：150/0  |  提交时间：2016/11/28 激光直写  无掩模光刻  微纳加工  自动聚焦  功率标定