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科研机构
上海光学精密机械研究... [4]
内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
2009 [1]
2007 [1]
2005 [2]
学科主题
光学薄膜 [4]
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Influence of substoichiometer on the laser-induced damage characters of HfO2 thin films
期刊论文
appl. surf. sci., 2009, 卷号: 255, 期号: 8, 页码: 4646, 4649
Zhang Dongping
;
Wang Congjuan
;
Fan Ping
;
Cai Xingmin
;
Liang Guangxing
;
邵建达
;
范正修
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浏览/下载:729/141
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提交时间:2009/09/22
Thin film
Dual-ion-beam sputtering
Substoichiometer
用不同的Mo靶溅射功率制备Mo/Si多层膜
期刊论文
强激光与粒子束, 2007, 卷号: 19, 期号: 1, 页码: 67, 70
秦俊岭
;
邵建达
;
易葵
收藏
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浏览/下载:891/156
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提交时间:2009/09/22
Mo靶
Atomic force microscopy
Mo/Si多层膜
Magnetron sputtering
溅射功率
Molybdenum
软X射线
Reflection
反射率
Surface morphology
Surface roughness
X ray diffraction analysis
X rays
磁控反应溅射法制备渐变折射率薄膜的模型分析
期刊论文
物理学报, 2005, 卷号: 54, 期号: 10, 页码: 4842, 4845
沈自才
;
邵建达
;
王英剑
;
范正修
收藏
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浏览/下载:806/149
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提交时间:2009/09/22
渐变折射率
gradient-index
磁控反应溅射
reactive magnetron sputtering
模型
modeling
反应溅射法
薄膜
制备
模型分析
磁控
变化规律
反应气体
德鲁德分布非均匀膜的光学特性模拟分析
期刊论文
光子学报, 2005, 卷号: 34, 期号: 12, 页码: 1862, 1867
沈自才
;
王英剑
;
范正修
;
邵建达
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浏览/下载:617/117
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提交时间:2009/09/22
光学薄膜
Optical films
非均匀性
Inhomogeneity
滤光片
Filter
优化
Optimization
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