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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2012     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 A multi-electrode and pre-deformed bilayer spring structure electrostatic attractive MEMS actuator with large stroke at low actuation voltage 期刊论文 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2012, 卷号: 22, 期号: 9 作者:  Hu, Fangrong;  Li, Zhi;  Qian, Yixian;  Yao, Jun;  Xiong, Xianming 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2015/07/10