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一种薄膜样品全自动裁切方法与装置 专利
专利号: ZL201910879174.2, 申请日期: 2021-03-02,
作者:  花昌义;  李志刚;  叶超;  王善锋;  孙淼
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Hybrid deposition system & methods 专利
专利号: EP1374282A1, 申请日期: 2004-01-02, 公开日期: 2004-01-02
作者:  SOLOMON, GLENN, S.;  MILLER, DAVID, J.
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