中国开放科研知识云: 检索

量子光通信望远镜跟踪控制技术研究 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
作者: 苏艳蕊

收藏 | 浏览/下载：30/0 | 提交时间：2017/01/06

复合结构光栅大范围高精度光刻对准技术研究 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
作者: 司新春

收藏 | 浏览/下载：16/0 | 提交时间：2017/01/06

纳米光刻中叠栅莫尔条纹检焦技术研究 学位论文
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者: 邸成良

收藏 | 浏览/下载：60/0 | 提交时间：2015/07/30

大型光学系统焦距精密测量技术研究 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2011
宋立通

收藏 | 浏览/下载：28/0 | 提交时间：2014/12/11

光腔衰荡高反射率测量技术综述 期刊论文
光电工程, 2010, 卷号: 37, 期号: 7, 页码: 102-106
作者: 李斌成; 龚元

收藏 | 浏览/下载：11/0 | 提交时间：2016/11/21

莫尔条纹分析及其在光刻对准中的应用 期刊论文
电子工业专用设备, 2010, 卷号: 39, 期号: 4, 页码: 21-23
作者: 马平; 周绍林; 胡松; 徐文祥

收藏 | 浏览/下载：5/0 | 提交时间：2016/11/23

纳米光刻双光栅对准莫尔条纹分析 期刊论文
微细加工技术, 2008, 卷号: 45, 期号: 3, 页码: 13-17
周绍林; 唐小萍; 胡松; 马平; 陈旺富; 严伟

收藏 | 浏览/下载：10/0 | 提交时间：2015/05/18

纳米光刻对准方法及其原理 期刊论文
微纳电子技术, 2008, 卷号: 45, 期号: 4, 页码: 222-230
周绍林; 唐小萍; 胡松; 马平; 陈旺富; 杨勇; 严伟

收藏 | 浏览/下载：79/0 | 提交时间：2015/05/18

纳米光刻中莫尔对准模型与应用 期刊论文
光电工程, 2008, 卷号: 35, 期号: 9, 页码: 27-31
周绍林; 陈旺富; 杨勇; 唐小萍; 胡松; 马平; 严伟; 张幼麟

收藏 | 浏览/下载：12/0 | 提交时间：2015/05/18

两种莫尔条纹信号对光栅系统测量精度的影响 期刊论文
光电工程, 2002, 卷号: 29, 期号: 6, 页码: 43－44
魏晓蓉; 刘丰文

收藏 | 浏览/下载：19/0 | 提交时间：2014/12/09

在结果中检索