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科研机构
半导体研究所 [7]
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期刊论文 [7]
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2011 [1]
2009 [1]
2008 [1]
2007 [1]
2004 [1]
2000 [2]
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学科主题
光电子学 [7]
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学科主题:光电子学
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采用低温缓冲层技术在Si衬底上生长高质量Ge薄膜
期刊论文
光电子·激光, 2011, 卷号: 22, 期号: 7, 页码: 1030-1033
周志文
;
贺敬凯
;
李成
;
余金中
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2012/07/17
Si衬底上Ge材料的UHVCVD生长
期刊论文
材料科学与工程学报, 2009, 卷号: 27, 期号: 1, 页码: 118-120
作者:
薛海韵
;
成步文
;
薛春来
收藏
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浏览/下载:33/0
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提交时间:2010/11/23
UHV/CVD法生长硅基低位错密度厚锗外延层
期刊论文
半导体学报, 2008, 卷号: 29, 期号: 2, 页码: 315-318
周志文
;
蔡志猛
;
张永
;
蔡坤煌
;
周笔
;
林桂江
;
汪建元
;
李成
;
赖虹凯
;
陈松岩
;
余金中
;
王启明
收藏
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2010/11/23
有机/无机杂化SiO_2/Si光波导薄膜的制备及表征
期刊论文
半导体光电, 2007, 卷号: 28, 期号: 4, 页码: 525-527
作者:
王玥
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浏览/下载:136/16
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提交时间:2010/11/23
光敏性溶胶-凝胶波导材料
期刊论文
半导体学报, 2004, 卷号: 25, 期号: 6, 页码: 687-690
姜永睿
;
胡雄伟
;
杨沁清
;
王红杰
;
杨澜
;
谢二庆
收藏
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2010/11/23
用氧化多孔硅方法制备厚的SiO_2膜及其微观分析
期刊论文
半导体学报, 2000, 卷号: 21, 期号: 3, 页码: 260
欧海燕
;
杨沁清
;
雷红兵
;
王红杰
;
余金中
;
王启明
;
胡雄伟
收藏
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2010/11/23
UHV/CVD生长SiGe/Si异质结构材料
期刊论文
半导体学报, 2000, 卷号: 21, 期号: 3, 页码: 250
作者:
王玉田
;
成步文
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2010/11/23
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