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科研机构
上海光学精密机械研究... [3]
内容类型
学位论文 [3]
发表日期
2013 [1]
2008 [1]
学科主题
材料工程 [1]
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专题:上海光学精密机械研究所
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激光热刻蚀材料的制备及其直写光刻性质研究
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2013
作者:
邓常猛
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浏览/下载:51/0
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提交时间:2016/11/28
激光热刻蚀
杯[4]芳烃衍生物
GeSbTe
激光直写光刻
高密度深刻蚀石英光栅分束器的研究
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2008
作者:
王博
收藏
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浏览/下载:32/0
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提交时间:2016/11/28
微光学
全息
感应耦合等离子体
熔融石英
偏振分束光栅
分束器
基于激光热模光刻效应的微纳结构制备及图形转移
学位论文
作者:
俞小哲
收藏
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2018/12/26
激光热模光刻
laser heat-mode lithography
激光直写
laser direct writing
Ge2Sb2Te5
Ge2Sb2Te5
纳米压印模板
template
ITO电极
ITO electrode
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