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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：北京大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 基于干法刻蚀技术的氮化镓MEMS加工工艺 期刊论文 纳米技术与精密工程, 2011 杨振川; 吕佳楠; 闫桂珍; 陈敬 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/11 干法刻蚀 氮化镓(GaN) MEMS dry etching gallium nitride (GaN) MEMS   中子辐射对CR-39的作用及CR-39表面的研究 其他 1991-01-01 张广利; 冯玉水 收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2015/10/24 三维网状结构  径迹  中子辐射  交联聚合物  均一性  化学刻蚀  辐射剂量  红外光谱研究  元素碳  CR-39