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大连理工大学 [1]
宁波材料技术与工程研... [1]
上海微系统与信息技术... [1]
内容类型
会议论文 [3]
发表日期
2008 [1]
2007 [1]
2006 [1]
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类金刚石(DLC)薄膜的激光表面毛化工艺研究
会议论文
第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛, 武汉
李爱魁
;
汪爱英
;
孙丽丽
;
徐采云
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浏览/下载:37/0
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提交时间:2011/05/10
激光毛化
双频容性耦合等离子体物理特性的研究
会议论文
第十三届全国等离子体科学技术会议, 中国四川成都, 2007-08-20
作者:
王友年
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提交时间:2019/12/27
等离子体物理
容性耦合
等离子体刻蚀
等离子体密度
能量分布
混合模型
轮廓线
Electron
sheath
不均匀性
一种新颖的基于离子束刻蚀的纳米沟道制备技术
会议论文
传感技术学报, 2006
史明甫
;
焦继伟
;
包晓清
;
冯飞
;
杨恒
;
李铁
;
王跃林
收藏
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2012/01/18
微/纳机械系统 纳米沟道 离子束刻蚀
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