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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 学科主题：光学工程     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 接近式表面等离子体透镜光刻分辨力增强原理和方法研究 学位论文 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016 作者:  张伟 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2016/12/30 表面等离子体光刻，衍射极限，工作距，离轴照明，贝塞尔光束，双曲色散超材料   基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究 学位论文 作者:  郑亚忠 收藏  |  浏览/下载：259/0  |  提交时间：2018/12/26 光刻机，工件台，位置测量，平面光栅尺  Lithography tools, Wafer stage, Position measurement, Plane grating encoder