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科研机构
上海光学精密机械研究... [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2007 [1]
2006 [1]
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专题:上海光学精密机械研究所
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内容类型:期刊论文
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激光二极管端面抽运Nd∶YVO
4
固体激光器热致光束畸变非对称的平衡
期刊论文
中国激光, 2007, 卷号: 34, 期号: 10, 页码: 1371, 1374
林强
;
王宪涛
;
朱健强
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浏览/下载:1043/263
  |  
提交时间:2009/09/18
激光器
固体激光器
Nd∶YVO4晶体
热畸变
椭球热透镜
lasers
solid state lasers
Nd∶YVO4 crystal
thermal distortion
ellipsoidal thermal lens
照明光瞳非对称性对光刻成像质量的影响
期刊论文
光学学报, 2006, 卷号: 26, 期号: 6, 页码: 885, 890
郭立萍
;
王向朝
;
黄惠杰
收藏
  |  
浏览/下载:1005/195
  |  
提交时间:2009/09/18
仪器
光刻
光刻仿真
离轴照明
光瞳非对称性
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